Сверхчистый бромистый водород применяется в качестве технологического газа для плазмохимического травления при производстве интегральных схем, в том числе микросхем, используемых в банковских и транспортных картах. Высокая степень очистки газа критична для снижения дефектности и повышения выхода годных изделий. В течение текущего года предприятия-потребители начали постепенное замещение импортного сырья, преимущественно китайского происхождения, на высококачественное отечественное:
- Содержание воды: < 1 ppm,
- Чистота: 99,999 %,
- Массовая доля суммы железа, хрома, меди и никеля: 1,0×10⁻⁴ %,
- Объёмная доля хлороводорода: 5×10⁻² %.
Проект реализован по заказу Минпромторга РФ. Производственная мощность установки, размещённой в Томске, составляет не менее 650 кг в год с возможностью увеличения объёма при наличии потребности. Общий объём инвестиций в проект достиг 260,5 млн рублей. ИХТЦ является единственным российским производителем данного вещества. Для заявок и коммерческих предложений: office@eсt-center.com.
