ИХТЦ реализовал полный цикл производства трибромида бора для микроэлектроники по заказу МПТ

Инжиниринговый химико-технологический центр совместно с Национальным исследовательским Томским государственным университетом завершил проект по разработке технологии и организации полного цикла производства трибромида бора высокой чистоты (6N5). Трибромид бора высокой чистоты в основном применяется для легирования полупроводников в микроэлектронике. Проект выполнен по заказу Минпромторга России в целях обеспечения технологического суверенитета страны. В реализации проекта также участвовали Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН (Новосибирск) и ООО «НПИ» (Нижний Новгород). Инженеры Нижнего Новгорода разработали технологические решения, а ученые из Томска и Новосибирска создали методики аналитического контроля и стандарты качества.

«Нашей задачей было не просто наладить синтез вещества, а построить завершенный технологический цикл, включая систему контроля качества на каждом этапе. Это необходимо для обеспечения стабильных характеристик материала, что критически важно для микроэлектроники», — пояснила руководитель проекта Ася Водянкина.

 Производственная мощность установки составляет 24 килограмма вещества в год. Продукт будет поставляться в таре, соответствующей технологической линии потребителя: в кварцевых ампулах различного объема и в специальных емкостях-барботерах. Создание полного цикла производства на отечественном сырье позволяет выпускать продукт, сопоставимый по цене и качеству с зарубежными аналогами, основные поставки которых ранее осуществлялись из Китая, Германии и США.

«Мы ориентировались на потребности отечественных предприятий микроэлектроники. Их ключевым требованием было не просто импортозамещение, а получение материала гарантированного качества по конкурентной цене. Этот критерий стал для нас основным, и в ходе реализации проекта он был достигнут», — отметил директор ИХТЦ Алексей Князев.

В настоящее время ИХТЦ формирует портфель заказов от промышленных потребителей. Первые поставки высокочистого трибромида бора запланированы на 2026 год.