Инжиниринговый химико-технологический центр завершил реализацию проекта по разработке и запуску отечественного производства высокочистого бромистого водорода (HBr) — вещества, критически важного для микроэлектронной промышленности. Проект реализуется в рамках программы развития электронного машиностроения на период до 2030 года. Заказчиком выступило Министерство промышленности и торговли Российской Федерации, ключевые потребители — ведущие отечественные предприятия отрасли: АО «Микрон», АО «ОКБ Планета», АО "ВЗПП - Микрон», АО «Ангстрем».
ИХТЦ осуществил разработку технологии и запуск производственной линии в г. Томске. За полтора года, в условиях крайне сжатых сроков, специалисты прошли путь от лабораторных исследований до полноценного производства, обеспечив выпуск HBr с чистотой 99,999% (5N).
Производство ориентировано на ежегодный объём 650 кг, однако мощность технологической линии может быть масштабирована в зависимости от спроса. Это позволяет обеспечить стабильные поставки сверхчистого HBr на российский рынок, тем самым полностью закрыв внутренние потребности и снизив зависимость от иностранных поставщиков — в первую очередь из Китая и Европы.
Чистота вещества играет ключевую роль: присутствие даже следовых примесей может нарушить работу оборудования или остановить производственный процесс в микроэлектронике. Особым вызовом стала разработка системы аналитического контроля, ранее отсутствовавшей в России. Над этой задачей работала команда молодых специалистов, которые на базе лаборатории физико-химических методов анализа Томского госуниверситета создали и аттестовали методики определения критически важных примесей - хлороводорода, воды, металлов и пр. Применение новых подходов и мировой практики позволило обеспечить точный и надёжный контроль качества продукции
Ася Водянкина, руководитель проекта
Проект по бромистому водороду — часть более широкой программы по развитию отечественной линейки сверхчистой химии. Параллельно ИХТЦ реализовал технологию производства TDMAT, а к концу 2025 году планируется завершение работ по внедрению в производство трибромида бора 99,99995 %.
